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Fab廠新人需要了解的工藝術語

2025-08-14 10:05:58 34

第五類：工藝整合與控制 (Process Integration & Control)

這是PIE（工藝整合工程師）的核心工作范疇，關注的是如何將所有工藝步驟“粘合”在一起，并確保整個流程的健康度。

Process Window (工藝窗口)

解釋：指某一個工藝參數（如曝光能量、刻蝕時間）可以變化的范圍，在這個范圍內，產出的結果（如CD、薄膜厚度）都能滿足規格（Spec）。
要點：窗口越寬，代表工藝越穩定（Robust），抵抗各種生產波動的能力越強。我們做研發和優化的一個核心目標，就是想方設法“拓寬工藝窗口”。

Process Margin (工藝裕度)

解釋：與工藝窗口類似，但更強調當前操作點距離規格邊界的“安全距離”。
要點：當有人說“這個工藝的Margin很小”，意思就是它非常敏感，稍微有點波動就可能產生廢品，需要特別關注。

DOE (Design of Experiments / 實驗設計)

解釋：一種科學的、高效的安排實驗的方法，用于研究多個工藝參數對結果的影響。
要點：這是工程師解決復雜問題的“核武器”。當遇到棘手的良率問題或需要開發新工藝時，我們不會盲目試錯，而是通過DOE來系統性地找到最優參數組合。你會經常聽到“我們來下一批DOE Wafer”。

TCAD (Technology Computer-Aided Design / 工藝與器件仿真)

解釋：在計算機上模擬整個芯片制造過程和器件的電學行為。
要點：這是“虛擬晶圓廠”，可以在不動用真實晶圓的情況下，預測工藝變化對器件性能的影響。能極大節約研發成本和時間，是先進制程研發的必備工具。

Scribe Line (劃片槽)

解釋：芯片（Die）與芯片之間的分割區域。在制造時，我們會在這個區域放置專門用于測試的結構。
要點：你看到的WAT數據，就是測試這些Scribe Line里的測試鍵（Test Key）得來的。它們是評估整片晶圓工藝均勻性和健康度的“哨兵”。

Dummy Pattern / Fill Pattern (虛擬圖形 / 填充圖形)

解釋：為了提高圖形密度均勻性而在電路的空白區域額外增加的、無實際功能的圖形。
要點：這對于CMP和Etch工藝至關重要。如果沒有Dummy，圖形稀疏區和密集區的研磨、刻蝕速率會不一致（稱為Loading Effect），導致平坦度和尺寸控制變差。

第六類：單元工藝進階 (Advanced Module Terminology)

Lithography & Etch (光刻與刻蝕)

Overlay (套刻精度)：衡量前后兩層光刻圖形對準的精確度。套刻不準，晶體管就無法正確形成，好比蓋樓時二樓蓋到了一樓的外面。
selectivity (選擇比)：在刻蝕過程中，目標材料的刻蝕速率與非目標材料（如光刻膠或下層薄膜）刻蝕速率的比值。
要點：選擇比越高越好，意味著在刻穿目標層的同時，能最大程度地保護下面的功能層和光刻膠“面具”。
Profile / Taper Angle (輪廓 / 斜角)：刻蝕后側壁的形貌。可以是垂直的（Anisotropic），也可以是傾斜的（Tapered），甚至是各向同性的（Isotropic）。
要點：不同的應用需要不同的Profile。例如，接觸孔（Contact）需要垂直的側壁以保證*填充，而某些斜坡結構則需要特定的角度。
OPC (Optical Proximity Correction / 光學鄰近效應校正)：在光罩上對圖形進行預先的微小扭曲和變形，以補償光刻過程中因光學衍射導致的圖形失真。
要點：沒有OPC，你設計的矩形在晶圓上可能會變成啞鈴形。這是保證圖形保真度的關鍵。

Thin Film & Thermal (薄膜與熱處理)

Step Coverage (臺階覆蓋率)：薄膜沉積在有高低不平結構的表面時，其在臺階側壁的厚度與在平坦表面厚度的比值。
要點：差的Step Coverage會導致連接孔內金屬斷裂或絕緣層空洞，是可靠性的殺手。ALD（原子層沉積）技術就是因其*的Step Coverage而備受青睞。
Stress (應力)：薄膜內部存在的張應力（Tensile）或壓應力（Compressive）。
要點：過大的應力會導致晶圓彎曲（Bow/Warp），甚至薄膜開裂、剝落。但我們也會利用應力來提升器件性能，這就是“應變工程”（Strain Engineering）。
RTA (Rapid Thermal Anneal / 快速熱退火)：一種熱處理技術，能在幾十秒內將晶圓快速升至高溫再快速降溫。
要點：相比傳統爐管（Furnace）幾小時的處理，RTA能實現相同的激活/修復效果，同時有效控制雜質的過度擴散，對于尺寸微縮至關重要。

第七類：良率、缺陷與分析 (Yield, Defect & Analysis)

Yield Excursion / Yield Crash (良率漂移 / 良率崩盤)

解釋：指產品良率突然或持續地偏離正常基線（Baseline）。
要點：這是Fab里最緊急的警報。一旦發生，會立即成立跨部門的“作戰小組”（Task Force）來解決問題。

D0 / Defect Density (缺陷密度)

解釋：單位面積內的缺陷數量。D0是衡量工藝潔凈度的核心指標。
要點：D0越高，良率越低。我們持續不斷地工作，就是為了把D0降到最低。

Kill Ratio (致命率)

解釋：某個特定類型的缺陷導致芯片最終失效的概率。
要點：并非所有缺陷都是致命的。一個大尺寸的顆粒落在有源區，Kill Ratio可能接近100%；而一個小缺陷落在非關鍵區域，可能就毫無影響。分析Kill Ratio有助于我們優先處理最致命的缺陷問題。

Systematic vs. Random Defect (系統性 vs. 隨機性缺陷)

解釋：系統性缺陷是有規律的、重復出現的，通常與光罩、設備或特定工藝步驟的設計相關。隨機性缺陷是偶然的、無規律分布的，如環境中的顆粒。
要點：解決兩者的思路完全不同。系統性缺陷需要從根源上（如修改OPC、優化Recipe）解決；隨機性缺陷則需要改善設備維護和工廠環境。

In-line Inspection (在線檢測)

解釋：在生產過程中的關鍵步驟后，立刻用設備（如KLA的掃描儀）檢查晶圓表面，而不是等到所有工序完成后。
要點：這能讓我們在問題發生的早期就發現它，及時攔截有問題的晶圓，并快速定位問題工序，避免整批報廢。

第八類：設備與運營 (Equipment & Operations)

MES (Manufacturing execution System / 制造執行系統)

解釋：Fab的“大腦”和“神經中樞”。它追蹤每一個Lot的實時位置，控制設備執行正確的Recipe，收集海量的生產數據。
要點：工程師通過MES系統下指令、查數據、Hold Lot。你每天的工作都離不開它。

PM (Preventive Maintenance / 預見性維護)

解釋：設備工程師定期對設備進行的清潔、保養和更換耗材的工作。
要點：就像汽車需要定期保養一樣。高質量的PM是保證設備穩定運行、降低D0的基礎。PM后的設備狀態恢復，是我們工藝工程師需要密切監控的。

Hold Lot (扣留批次)

解釋：由于發現異常（如SPC OOC、量測超標、高Defect），通過MES系統將一個Lot暫停在當前步驟，禁止其繼續流片。
要點：這是止損的關鍵動作。Hold住的Lot需要工程師進行分析和判定（Disposition），決定是放行（Release）、報廢（Scrap）還是重工（Rework）。

OOC / OOS (Out of Control / Out of Spec)

解釋：OOC指SPC圖上的數據點超出了控制線（UCL/LCL），表明過程發生波動，但結果可能仍在規格內。OOS指測量結果超出了工程規格（USL/LSL），意味著產品已經不合格。
要點：OOC是預警，需要調查原因。OOS是事故，通常需要立即Hold Lot。

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