清華實控、國內*，12英寸CMP設備商科創板上會通過

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2022-03-17 08:20:24 2

華海清科14nm機臺正在進行驗證。 芯東西6月17日報道，今天，華海清科股份有限公司（以下簡稱“華海清科”）在上交所科創板上會通過。由上會稿可知，華海清科的主營業務為CMP（化學機械拋光）設備，是目前國內*一家能夠提供半導體12英寸CMP商業機型的廠商。 CMP設備是先進集成電路制造前道工序、先進封裝等環節必需的關鍵制程工藝。如果將芯片的制造比作房屋的修建，那么每一樓層都必須要十分平整才能在上面搭建另一層，否則就會高低不平，影響芯片整體性能。而使芯片“大廈”平整的要點就是CMP技術，該技術也是晶體管工藝達到納米級關鍵。華海清科的產品可覆蓋8英寸（200mm）、12英寸（300mm）晶圓產線，是半導體供應鏈國產替代的重要一環，已應用于中芯國際、長江存儲、華虹集團、英特爾等廠商的芯片產線中。本次IPO，華海清科計劃募資10億元，其中CMP設備產業化項目將占3.5億元，高端半導體設備研發項目計劃投入2億元募集資金，晶圓再生擴產升級項目則占用1.5億元，其余3億元將補充華海清科的流動資金。報告期內，華海清科營收增長較快，2017年總營收為1918萬元，2020年達到3.86億元。目前，清華大學為華海清科實際控制人，股份占比為37.58%。董事長為清華大學教授、博士生導師路新春。清華大學也在上會稿中作出承諾，其作為行政事業單位將不會直接從事經營活動。

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▲華海清科股權結構

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01 . 單年營收達3.86億，凈利扭虧為盈

上會稿顯示，2018年-2020年，華海清科的營收漲幅都在1億元以上，其2020年的凈利潤也接近1億元。華海清科2018年-2020年總營收分別為3566萬元、2.11億元和3.86億元。凈利潤方面，2018年-2020年華海清科凈利潤則分別為-3571萬元、-1.54億元和0.98億元。

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▲2018年-2020年華海清科營收及凈利潤變化

根據華海清科官網，2013年4月10日該公司成立；2016年3月，華海清科首臺12英寸CMP設備Universal-300通過中芯國際驗收。上會稿提到，華海清科以12英寸CMP設備作為基礎，于2017年完成了對8英寸CMP設備Universal-200的研制。同年，該型號設備進入客戶端并完成驗收。2020年，華海清科12英寸減薄設備Versatile-GP300研制成功。目前，華海清科的設備主要分為300系列和200系列，其中300系列主要應用于12英寸芯片產線，200系列設備則用于8英寸產線。根據統計，300系列設備是華海清科的主營產品，2020年300系列設備銷售金額占總營收比例分別為88.91%，200系列占比為2.64%，配套材料及技術服務占比則為8.45%；2018年-2020年，300系列設備的銷售金額占華海清科營收占比分別為89.01%、92.39%和88.91%。

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▲2020年華海清科業務營收占比

02 . 打破應材、荏原12英寸CMP設備壟斷

從全球CMP設備市場來看，美國應用材料和日本荏原是行業內的頭部玩家。根據美國市場研究公司Gartner數據，2020年全球CMP設備市場規模達到16.3億美元，而應用材料和日本荏原兩家公司所占市場份額在90%左右。就國內CMP設備廠商來講，有華海清科、北京爍科精微電子裝備有限公司和中國電子科技集團公司第四十五研究所等，目前華海清科是*實現12英寸系列CMP設備量產銷售的設備廠商。在國內市場上，華海清科已開始對美國應用材料、日本荏原兩家公司的市場份額發起挑戰。中國國際招標網數據顯示，長江存儲、華虹無錫、上海華力一二期項目和上海積塔等2019年共招標采購38臺CMP設備，華海清科中標8臺，占比21.05%；2020年1-9月，上述項目和公司共招標采購68臺CMP設備，華海清科中標28臺，占比為41.18%；其余的12英寸CMP設備訂單則由美國應用材料和日本荏原獲得。在客戶方面，由于半導體行業技術密集和資本密集的特性，華海清科的客戶相對較為集中。2018年、2019年、2020年，華海清科前五大客戶占比分別為99.09%、94.96%和85.71%。具體來說，中芯國際自2017年以來就一直是華海清科的前五大客戶，華虹集團從2018年后也一直是其前五大客戶。2020年，長江存儲銷售金額為1.28億元，占華海清科同期營收比例為33.22%，華虹集團、中芯國際、睿力集成電路有限公司、浙江馳拓科技有限公司則是華海清科其余前五大客戶。

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▲2018年-2020年華海清科前五大客戶

在這之中，長江存儲、華虹集團和華海清科存在關聯關系。長江存儲是清華控股控制的其他企業；華海清科總經理張國銘則在華虹集團擔任外部董事。在原材料及器件采購上，北京錦通昌精密機械設備公司一直是華海清科的*大零部件供應商。2020年1-6月，華海清科在該公司的采購金額為4162.67萬元，占總采購金額的18.29%。

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▲2018年-2020年華海清科前五大供應商

03 . 3年投資1.35億，董事長為全球CMP設備*專家

華海清科之所以能夠獲得中芯國際、華虹集團、長江存儲、大連英特爾等半導體廠商的青睞，很大一部分原因在于其國內較為*的技術實力。華海清科的核心技術人員有董事長兼首席科學家路新春、副總經理王同慶等8人，研發人員總計125人，占公司員工總數的比例為32.98%。路新春為華海清科的首席科學家，也是該公司的技術、產品研發帶頭人，累計獲已授權*發明專利超過100項，曾牽頭起草1項企業產品標準。截至2020年12月31日，路新春發表CMP相關SCI論文86篇，每篇文章平均被引用超過10次，位居全球CMP設備領域技術專家前三名，也是全球CMP設備技術授權專利獲得最多的專家。

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▲華海清科董事長、首席科學家路新春

近3年來，該公司的研發投入總計達1.35億元，占同期營收比例為21.33%。在這樣的研發投入下，華海清科累計擁有已授權專利173項。上會稿顯示，華海清科擁有納米級拋光、納米精度膜厚在線檢測、納米顆粒超潔凈清洗、大數據分析及智能化控制和超精密減薄等等多項關鍵核心技術。

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▲華海清科產品關鍵技術及水平評價

此外，華海清科也承擔了*科技02重大專項《28-14nm拋光設備及工藝、配套材料產業化》項目，其“CMP拋光系統研發與整機系統集成”課題于2020年6月順利驗收，相關科技成果已實現產業化應用。目前，華海清科已有機臺在客戶端做14nm產線驗證，不久或可實現28-14nm CMP設備的國產替代。
04 . 清華大學為實際控制人

根據上會稿，清華大學是華海清科的實際控制人，持有37.58%的公司股份；清津厚德為第二大股東，擁有10.24%的公司股份；董事長路新春則是第三大股東，持有7.93%的公司股份。其他持有華海清科5%以上股份的股東還有科海投資和國投基金，分別持有7.43%和6.35%的公司股份。

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▲華海清科前10大股東

05 . 結語：華海清科上市或加速技術進步，仍需面對激烈競爭

隨著全球半導體短缺問題日益嚴重，歐美等國已經將半導體供應鏈當作了*安全的重要組成部分。隨著美國半導體激勵法案的逐漸推進，半導體也成為了*角力的一大領域。

在這樣的背景下，保障我國半導體供應鏈的安全可控意義重大。而華海清科擁有12英寸CMP設備的自主知識產權，如果能夠成功上市，其研發資金也將更加充裕，或將加速其的技術發展。另一方面來說，美國應用材料和日本荏原的CMP設備已達到5nm制程水平，技術*華海清科。在逐漸整合的半導體市場中，即使華海清科成功上市，其面對的競爭壓力依舊較大，未來能否打破巨頭壟斷仍需觀望。

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